기술

R&D센터의 독창적 기술

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혁신

오픈이노베이션을 위한 투자 및 파트너십

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품질관리

장비의 품질고도화를 위한 PSK그룹의 헌신

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제품
  • SUPRA 제품군
  • 세계 시장점유율 1위 SUPRA는 입증된 성능을 통하여 dry strip을 안정적으로 처리할 수 있으며, 가장 작은 풋프린트(footprint)로 설계되어 높은 웨이퍼 처리량 및 낮은 장비유지비용을 제공합니다.
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  • INTEGER 제품군
  • INTEGER는 척, 배플 온도 및 다양한 화학물 조합을 통해 선택비(selectivity)를 조절하여 반도체 공정에서 high aspect ratio contact(HARC) 세정 및 패턴 형성이 가능한 dry cleaning 장비입니다.
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  • OMNIS 제품군
  • OMNIS는 산화막 및 질화막과 같은 하드마스크의 하부막들에 대하여 선택적으로 제거할 수 있는 높은 선택비를 실현할 수 있는 new hard mask strip 장비입니다.
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  • PRECIA 제품군
  • PRECIA는 웨이퍼 엣지의 수율 향상을 위한 edge clean 장비로서 낮은 장비유지비용과 높은 성능이 장점입니다.
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업데이트
주식 정보

주식 시세

(거래 정보는 약 10분정도 지연될 수 있습니다.)
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30,800 31,250 30,750 31,100 200 (-0.65%) 19,387