기술

PSK그룹 R&D센터

세계 반도체 장비분야의 새로운 가치를 창출하고, 나아가 미래 준비를 위한 신성장 동력 발굴 및 선행기술 확보를 목표로 활발한 연구개발을 추진하고 있습니다. 누구보다 빠른 혁신기술 확보를 위해 적극적으로 연구개발비에 투자하고 있습니다.


저희 PSK그룹은 최근 수년간 기술개발을 통해 독자적 기술개발과 원천기술을 보유하였으며, 독자개발 및 공동개발 등 다양한 방식에 의한 기술확보 실적을 이루어 나아가고 있으며 국내외 산업재산권(특허 및 상표) 수백여개를 보유하고 있습니다.

R&D센터 운영 방향

전기, 전자, 기계, 물리, 화학, 재료, 광학 등 다양한 학문적 기반을 바탕으로 기술 개발

고객 소자업체들과의 공정 개발 협력 및 파트너사와의 부품개발 협력 개발

대학 등 연구기관과 협력 개발

적극적인 R&D 투자

R&D센터 성과

건식 클리닝 장비를 통해 기존의 습식 기술을 대체하여 10nm DRAM 개발 및 생산에 기여

New hard mask 제거공정을 세계최초로 양산화 하여 차세대 반도체 개발에 기여

식각 분야 틈새시장을 타겟으로 신규 장비 양산 평가 진행중

기존 습식 기술을 플라즈마와 가스를 활용하는 건식 공정기술로 대체하여 차세대 반도체 개발에 기여

신규 장비에 필요한 플리즈마 소스 등 핵심부품들의 개발

장기적으로 반도체공정 핵심장비인 에처(etcher) 개발 프로젝트 진행

PSK R&D센터의 미래

미래 성장동력 확보를 위해 끊임없는 연구개발과 내부 HRD를 통한 인재양성을 위해 지속적으로 노력하고 있으며, 2021년 설립 예정인 판교 R&D 캠퍼스는 PSK그룹의 장기적 발전을 위한 중심이 될 것입니다.